此前半导体设备精密零配件大多依赖进口,海外供货周期动辄数月,供应链不稳定,国产化替代已成行业必然趋势。但半导体设备配件精度严苛,微米级公差要求加高,小型作坊受设备限制很难达标,成为设备厂采购难题。
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